発掘調査により、７世紀後半から末頃にかけて、堂塔が順次建てられたと考えられ、伽藍は西向きの特異な配置となっている。塔跡に平安時代後期の造立とされる、凝灰岩製の十三重石塔は重要文化財に指定されている。現在、1907年（明治40）に移された於美阿志（おみあし）神社が鎮座している。